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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222050456.1 (22)申请日 2022.08.04 (73)专利权人 河南中正宝明新材 料有限公司 地址 458000 河南省鹤壁市淇县桥盟乡鹤 淇产业集聚区经一路南段高强 紧固件 公司东侧 (72)发明人 朱俊杰 (74)专利代理 机构 河南银隆律师事务所 41 186 专利代理师 王帅可 (51)Int.Cl. B08B 9/027(2006.01) B01D 46/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道 (57)摘要 本实用新型提供一种连续式氮化硅粉生产 线用降温风道, 属于氮化硅粉生产技术领域, 该 连续式氮化硅粉生产线用降温风道包括降温管 道, 所述降温管道上设置有降温装置, 所述降温 管道内部设置有平移机构, 所述平移机构上设置 有滑块, 所述滑块上设置有用于清理管道两侧内 壁的清理装置; 通过驱动装置可带动丝杠进行转 动, 通过丝杠可带动滑块进行转动, 通过限位柱 可对滑块进行限位, 使其在上进行滑动, 通过滑 块带动清理装置进行移动, 通过清理装置带动齿 轮进行滑动, 通过齿条带动齿轮进行转动, 通过 齿轮带动清理装置进行转动, 有效的对降温风道 内部进行清理, 避免了灰尘在风道内部积攒, 提 高了降温效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218014633 U 2022.12.13 CN 218014633 U 1.一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于, 包括: 降温管道(1), 所述降温 管道(1)上设置有降温装置(2), 所述降温管道(1)内部设置有平移机构(3), 所述平移机构 (3)上设置有滑块(6), 所述滑块(6)上设置有清理管道两侧内壁的清理装置(7)。 2.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于: 所述降 温装置(2)包括固定连接在降温管道(1)的机箱(12), 所述机箱(12)上固定连接有风扇 (13)。 3.根据权利要求2所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于: 所述机 箱(12)上设置有用于出气的出风口(14)。 4.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于: 所述降 温管道(1)上设置有抽风口(15), 所述抽风口(15)上设置有用于过滤灰尘的过滤板(16), 所 述抽风口(15)上设置有隔板(17)。 5.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于: 所述平 移机构(3)包括固定安装在降温管道(1)的驱动装置(4), 所述 驱动装置(4)的输出端固定连 接有丝杠(5), 所述丝杠(5)上螺纹连接有滑块(6), 所述降温管道(1)上固定连接有安装块 (10), 所述 安装块(10)上固定连接有用于对滑块(6)进行限位的限位柱(1 1)。 6.根据权利要求5所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于: 所述驱 动装置(4)为电机 。 7.根据权利要求1所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征在于: 所述清 理装置(7)包括转动连接在滑块(6)上的毛刷(20), 所述毛刷(20)上固定连接有齿轮(8), 所 述降温管道(1)上固定连接有与齿轮(8)啮合的齿条(9)。 8.根据权利要求1 ‑7任意一项所述的一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 其特征 在于: 所述降温管道(1)上固定连接有支撑杆(18), 所述支撑杆(18)上固定连接有支撑柱 (19)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 218014633 U 2一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道 技术领域 [0001]本实用新型属于氮化硅粉生产技术领域, 具体涉及一种连续式氮化硅粉生产线用 降温风道。 背景技术 [0002]氮化硅耐高温性能和化学稳定性好, 致密性好, 是强共价键化合物, 有良好的抗氧 化、 抗腐蚀和耐 高温等性能, 并且不与熔融硅发生反应, 非常符合提纯多晶硅过程中坩埚涂 层的要求。 但是作为涂层, 要求氮化硅粉的纯度高, 避免污染硅锭。 [0003]生产氮化硅粉会产生大量的灰尘, 一般 的降温管道里面会积攒大量灰尘, 长时间 会导致管道内部堵塞, 降温效果 不好。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道, 旨在解决现 有技术中降温管道内部灰尘难以清理的问题。 [0005]为实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种连续式氮化硅粉生产线用 降温风道, 包括: 降温管道, 所述降温管道上设置有降温装置, 所述降温管道内部设置有平 移机构, 所述平 移机构上设置有滑块, 所述滑块上设置有清理管道两侧内壁的清理装置 。 [0006]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有降温的作用, 作为本实用 新型一种优选的, 所述降温装置包括固定连接在降温管道的机箱, 所述机箱上固定连接有 风扇。 [0007]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有将管道内部热气排出的 作用, 作为本实用新型一种优选的, 所述机箱上设置有用于出气的出风口。 [0008]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有抽 取车间内部空气的作 用, 作为本实用新型一种优选的, 所述降温管道上设置有抽风口, 所述抽风口上设置有用于 过滤灰尘的过 滤板, 所述抽风口上设置有隔板 。 [0009]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有带动装置平移的作用, 作 为本实用新型一种优选的, 所述平移机构包括固定安装在降温管道的驱动装置, 所述驱动 装置的输出端固定连接有丝杠, 所述丝杠上螺纹连接有滑块, 所述降温管道上固定连接有 安装块, 所述 安装块上固定连接有用于对滑块进行限位的限位柱。 [0010]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有驱动装置的作用, 作为本 实用新型一种优选的, 所述驱动装置为电机 。 [0011]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有清理装置的作用, 作为本 实用新型一种优选的, 所述清理装置包括转动连接在滑块上 的毛刷, 所述毛刷上固定连接 有齿轮, 所述降温管道上固定连接有与齿轮啮合的齿条。 [0012]为了使得该一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道具有支撑装置的作用, 作为本 实用新型一种优选的, 所述降温管道上固定连接有支撑杆, 所述支撑杆上固定连接有支撑说 明 书 1/3 页 3 CN 218014633 U 3
专利 一种连续式氮化硅粉生产线用降温风道
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