(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221756266.5 (22)申请日 2022.07.07 (73)专利权人 顺诠达 （重庆） 电子有限公司 地址 400700 重庆市北碚区润兴 路251号 (72)发明人 游证杰　庄益祯　 (74)专利代理 机构 合肥市都耒知识产权代理事 务所(普通 合伙) 34227 专利代理师 刘新雷 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) F21K 9/20(2016.01) F21V 7/00(2006.01) F21V 7/04(2006.01) F21Y 115/10(2016.01) (54)实用新型名称 一种灯杯式多面平行光源 (57)摘要 本实用新型公开了一种灯杯式多面平行光 源， 属于LED光刻光源领域， 包括灯杯， 灯杯中设 置有光源， 灯杯的下方设置有用于将光线反射的 第一反射镜， 第一反射镜 反光侧依次设置有透镜 组、 复眼组， 复眼组远离透镜组的一侧设置有第 二反射镜， 光源发射的光线经过第一反射镜、 透 镜组、 复眼组发射到第二反射镜上， 第二反射镜 为曲面， 本实用新型通过设置第一反射镜将光线 反射到第二反射镜上， 通过透镜组使光线汇聚到 一起， 通过设置复眼组将光线折射成均匀强度， 通过设置第二反射镜为曲面使光线反射成平行 光线， 通过光线的反射、 光线的折射以及光线汇 聚， 使光源光线强度保持一致， 解决了不会因为 光线的原因导 致半导体开 孔大小不 一。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217689772 U 2022.10.28 CN 217689772 U 1.一种灯杯式多面平行光源， 包括灯杯(1)， 其特征在于： 所述灯杯(1)中设置有光源 (2)， 所述灯杯(1)的下 方设置有用于将光线反射的第一反射镜(3)； 所述第一反射镜(3)反光侧依次设置有透 镜组(4)、 复眼组(5)； 所述复眼组(5)远离所述透 镜组(4)的一侧设置有第二反射镜(6)； 所述光源(2)发射的光线经过所述第一反射镜(3)、 所述透镜组(4)、 所述复眼组(5)发 射到所述第二反射镜(6)上， 所述第二反射镜(6)为曲面。 2.根据权利要求1所述的一种灯杯式多面平行光源， 其特征在于:所述第一反射镜(3) 设置在灯杯(1)的正下 方且第一反射镜(3)的中心与灯杯(1)中心相对应。 3.根据权利要求2所述的一种灯杯式多面平行光源， 其特征在于:所述透镜组(4)的中 心点与第一反射镜(3)的中心点处在一个水平。 4.根据权利要求1所述的一种灯杯式多面平行光源， 其特征在于:所述复眼组(5)的中 心点与透 镜组(4)的中心点处在一个水平且复眼组(5)与透 镜组(4)之间留有一定距离 。 5.根据权利要求1所述的一种灯杯式多面平行光源， 其特征在于： 所述第二反射镜(6) 的中心点与复眼组(5)的中心点处在一个水平且第二反射镜(6)与复眼组(5)之间留有一定 距离。 6.根据权利要求1所述的一种灯杯式多面平行光源， 其特征在于： 所述光源(2)设置在 灯杯(1)的正中间。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217689772 U 2一种灯杯式 多面平行光源 技术领域 [0001]本实用新型LED光刻光源领域， 具体为 一种灯杯式多面平行光源。 背景技术 [0002]随着科技高速发展， 芯片广泛用于我们日常生活中， 随处可见的科技产品都离不 开芯片， 所以芯片已然成为了我们不可或缺的产品， 在芯片生产中光刻是最重要的一个工 艺， 如果在对半导体开 孔时射出的光线角度太大光线太散， 导 致生产效率低下。 实用新型内容 [0003](一)解决的技 术问题 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种灯杯式多面平行光源， 通过光线的 反射、 光线的折 射以及光线汇聚， 使光源光线反射 集中， 提升生产效率。 [0005](二)技术方案 [0006]为达到以上目的， 本实用新型采取的技术方案是一种灯杯式多面平行光源， 包括 灯杯， 所述灯杯中设置有光源， 所述灯杯的下 方设置有用于将光线反射的第一反射镜； [0007]所述第一反射镜反光侧依次设置有透 镜组、 复眼组； [0008]所述复眼组远离所述透 镜组的一侧设置有第二反射镜； [0009]所述光源发射的光线经过所述第一反射镜、 透镜组、 复眼组发射到所述第二反射 镜上， 所述第二反射镜为曲面。 [0010]优选的， 所述第一反射镜设置在灯杯的正下方且第一反射镜的中心与灯杯中心相 对应。 [0011]优选的， 所述透 镜组的中心点与第一反射镜的中心点处在一个水平。 [0012]优选的， 所述复眼组的中心点与透镜组的中心点处在一个水平且复眼组与透镜组 之间留有一定距离 。 [0013]优选的， 所述第二反射镜的中心点与复眼组的中心点处在一个水平且第二射镜与 复眼组之间留有一定距离 。 [0014]优选的， 所述 光源设置在灯杯的正中间。 [0015](三)有益效果 [0016]本实用新型的有益效果在于： [0017]1、 该用于灯杯式多面平行光源， 通过将第二反射镜设为曲面使得可以反射出平行 集中的光线， 提高生产效率。 附图说明 [0018]图1为本实用新型的一种灯杯式多面平行光源曲面 立体解剖内部结构示 意图。 [0019]图2为本实用新型的一种灯杯式多面平行光源平面 立体解剖内部结构示 意图。 [0020]图中： 1‑灯杯， 2‑光源,3‑第一反射镜， 4 ‑透镜组， 5‑复眼组， 6 ‑第二反射镜 。说　明　书 1/2 页 3 CN 217689772 U 3