(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221755188.7 (22)申请日 2022.07.07 (73)专利权人 顺诠达 （重庆） 电子有限公司 地址 400700 重庆市北碚区润兴 路251号 (72)发明人 游证杰　庄益祯　 (74)专利代理 机构 合肥市都耒知识产权代理事 务所(普通 合伙) 34227 专利代理师 刘新雷 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) F21K 9/20(2016.01) F21Y 115/10(2016.01) (54)实用新型名称 一种灯杯式光刻光源 (57)摘要 本实用新型公开了一种灯杯式光刻光源， 属 于LED光刻光源领域， 包括灯杯， 其特征在于： 灯 杯中设置有LED灯组， 灯杯 的下方设置有第一反 射镜， 第一反射镜从左到右依次设置有透镜组、 复眼组以及第二反射镜且第二反射镜下方设置 有平行大透镜， LED灯组发射的光源依次经过第 一反射镜、 透镜组、 复眼组投射到第二反射镜， 然 后第二反射镜将光线反射到平行大透镜上， 本实 用新型通过将灯组里的旧灯组换成LED,通过换 成LED灯组解决了用起来费电和使用寿命不长以 及灯组打开或者关闭比较慢的缺点， 通过设置第 一反射镜、 透镜组、 复眼组， 第二反射镜以及 平行 大透镜配合使用， 使得LED灯组发射出的光线汇 聚到一起。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217718428 U 2022.11.01 CN 217718428 U 1.一种灯杯式光刻光源， 包括灯杯(1)， 其特征在于： 所述灯杯(1)中设置有LED灯组 (2)， 所述LED灯组(2)为多面LED 模组， 所述LED灯组(2)为多面发光， 所述LED灯组(2)包括发 光杯， 所述 发光杯内部一周均匀设置有若干发光珠， 所述LED灯组(2)与所述灯杯(1)在同一 条轴线上； 所述灯杯(1)的下 方设置有用于光线反射的第一反射镜(3)； 所述第一反射镜(3)从左到右 依次设置有透 镜组(4)、 复眼组(5)； 所述复眼组(5)远离 透镜组(4)一 边设置有用于反射 光线的第二反射镜(6)； 所述第二反射镜(6)下方设置有平行大透镜(7)， 所述LED灯组(2)发射的光线依次经过 所述第一反射镜(3)、 所述透镜组(4)上、 所述复眼组(5)、 所述第二反射镜(6)以及所述平行 大透镜(7)。 2.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源， 其特征在于:所述第一反射镜(3)设置 在灯杯(1)的正下 方且第一反射镜(3)的中心与灯杯(1)中心相对应。 3.根据权利要求2所述的一种灯杯式光刻光源， 其特征在于:所述透镜组(4)的中心点 与第一反射镜(3)的中心点处在一个水平。 4.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源， 其特征在于:所述复眼组(5)的中心点 与透镜组(4)的中心点处在一个水平且复眼组(5)与透 镜组(4)之间留有一定距离 。 5.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源， 其特征在于： 所述第二反射镜(6)的中 心点与复眼组(5)中心点处在一个水平， 且位于平行 大透镜(7)的正上 方。 6.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源， 其特征在于： 所述平行大透镜(7)的中 心点与第二反射镜(6)中心点相对应且与第二反射镜(6)之间留有一定距离 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217718428 U 2一种灯杯式光刻光源 技术领域 [0001]本实用新型LED光刻光源领域， 具体为 一种灯杯式光刻光源。 背景技术 [0002]随着科技高速发展， 芯片广泛用于我们日常生活中， 随处可见的科技产品都离不 开芯片， 所以芯片成为了我们不可或缺的产品， 在芯片生产中光刻光源是最重要的一个工 艺， 以往的光刻光源里面的光源用的是旧灯 组， 该旧灯 组使用起来不仅费电而且该灯组使 用寿命不长， 并且旧灯组打开或者关闭比较慢， 给 科研人员带来了不小的麻烦。 实用新型内容 [0003](一)解决的技 术问题 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种灯杯式光刻光源， 通过将灯组里的 旧灯组换成LED,通过换成LED灯组解决了用起来费电和使用寿命不长以及灯组打开或者关 闭比较慢的缺 点。 [0005](二)技术方案 [0006]为达到以上目的， 本 实用新型采取的技术方案是一种灯杯式光刻光源， 包括灯杯， 所述灯杯中设置有LED灯组， 所述LED灯组为多面LED模组， 所述LED灯组为多面发光， 所述 LED灯组包括发光杯， 所述发光杯内部一周均匀设置有若干发光珠， 所述LED灯组与所述灯 杯在同一条轴线上； [0007]所述灯杯的下 方设置有用于光线反射的第一反射镜； [0008]所述第一反射镜从左到右 依次设置有透 镜组、 复眼组； [0009]所述复眼组远离 透镜组一边设置有用于反射 光线的第二反射镜； [0010]所述第二反射镜下方设置有平行大透镜， 所述LED灯组发射的光线依次经过所述 第一反射镜、 所述透 镜组上、 所述复眼组、 所述第二反射镜以及所述平行 大透镜。 [0011]优选的， 所述第一反射镜设置在灯杯的正下方且第一反射镜的中心与灯杯中心相 对应。 [0012]优选的， 所述透 镜组的中心点与第一反射镜的中心点处在一个水平。 [0013]优选的， 所述复眼组的中心点与透镜组的中心点处在一个水平且复眼组与透镜组 之间留有一定距离 。 [0014]优选的， 所述第二反射镜 的中心点与复眼组中心点处在一个水平， 且位于平行大 透镜的正上 方。 [0015]优选的， 所述平行大透镜的中心点与第二反射镜中心点相对应且与第二反射镜之 间留有一定距离 。 [0016](三)有益效果 [0017]本实用新型的有益效果在于： [0018]1、 该用于灯杯式光刻光源， 通过在灯杯中安装LED灯组不仅降低了耗电的能力同说　明　书 1/3 页 3 CN 217718428 U 3