(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221358302.2 (22)申请日 2022.06.01 (73)专利权人 衡阳凯新特种材 料科技有限公司 地址 421000 湖南省衡阳市雁峰区白沙洲 工业园区工业大道46号 (72)发明人 陈杰　陈巨喜　朱福林　文金桃　 肖亮　 (74)专利代理 机构 北京风雅颂专利代理有限公 司 11403 专利代理师 李博瀚 (51)Int.Cl. B07B 1/28(2006.01) B07B 1/46(2006.01) (54)实用新型名称 硅粉筛分装置 (57)摘要 本实用新型公开一种硅粉筛分装置， 包括第 一筛体和第一筛板， 第一筛体包括第一外壳和第 一内衬， 第一内衬设置于第一外壳的内部， 第一 内衬包括主体部和凸起部， 主体部覆盖第一外壳 的内壁， 凸起部设置于主体部背离第一外壳的内 壁的一面， 第一筛板的边缘为台阶结构， 第一筛 板的边缘设置于凸起部上， 凸起部与台阶结构形 成的台阶面连接。 通过在第一外壳的内部设置第 一内衬， 第一内衬的主体部覆盖第一外壳的内 壁， 使硅粉只与第一内衬接触， 不会与第一筛体 之间发生摩擦而产生污染硅粉的颗粒， 保证了硅 粉的高纯度。 第一内衬的凸起部与台阶结构形成 的台阶面连接， 使第一筛板能更好地被定位， 便 于第一筛板的装卸， 第一筛板也不易从第一内衬 上脱离。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217392959 U 2022.09.09 CN 217392959 U 1.一种硅粉筛分装置， 其特征在于， 包括第一筛体(1)和第一筛板(2)， 所述第一筛体 (1)包括第一外壳(11)和第一内衬(12)， 所述第一内衬(12)设置于所述第一外壳(11)的内 部， 所述第一内衬(12)包括主体部(121)和凸起部(122)， 所述主体部(121)覆盖所述第一外 壳(11)的内壁， 所述凸起部(122)设置于所述主体部(121)背离所述第一外壳(11)的内壁的 一面， 所述第一筛板(2)的边缘为台阶结构， 所述第一筛板(2)的边缘设置于所述凸起部 (122)上， 所述凸起部(12 2)与所述台阶结构形成的台阶面连接 。 2.如权利要求1所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 还包括第二筛体(3)和第二筛板 (4)， 所述第二筛体(3)包括第二外壳(31)和第二内衬(32)， 所述第二内衬(32)设置于所述 第二外壳(31)的内部， 所述第二内衬(32)为漏斗形， 所述第二筛板(4)设置于所述第二内衬 (32)中并位于所述第一筛 板(2)的下 方。 3.如权利要求2所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 所述第二筛板(4)上的筛孔孔径小 于所述第一筛 板(2)上的筛孔 孔径。 4.如权利要求2所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 还包括支撑架(5)， 所述第一外壳 (11)设置于所述第二外壳(31)上， 所述第二外壳(31)设置于所述支撑架(5)上， 所述支撑架 (5)上开设有下料孔(100)， 所述下料孔(100)位于所述第二筛板(4)的下方， 所述下料孔 (100)的孔壁被所述第二内衬(32)覆盖 。 5.如权利要求4所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 还包括收料桶(6)， 所述支撑架(5) 包括支撑板(51)和若干支撑腿(52)， 所述下料孔(100)开设于所述支撑板(51)上， 所述支撑 腿(52)与所述支撑 板(51)的边 缘连接， 所述收料桶(6)能放置 于所述下 料孔(100)的下方。 6.如权利要求5所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 所述支撑板(51)的底面设有若干限 位块(53)， 所述限位 块(53)能与所述收料桶(6)的外壁抵 接。 7.如权利要求5所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 所述收料桶(6)包括桶体(61)和第 三内衬(62)， 所述第三内衬(62)覆盖所述桶体(61)的内壁。 8.如权利要求5所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 还包括振动台(7)， 所述支撑架(5) 设置于所述振动台(7)上， 所述收料桶(6)能放置 于所述振动台(7)上。 9.如权利要求8所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 所述振动台(7)的下方设有滚轮 (8)， 所述振动台(7)上还设有推拉杆(9)。 10.如权利要求1所述的硅粉筛分装置， 其特征在于， 所述第一内衬(12)采用聚氨酯制 作， 所述第一筛 板(2)采用氮化硅制作。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217392959 U 2硅粉筛分装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体材 料制备技 术领域， 尤其涉及一种硅粉筛分装置 。 背景技术 [0002]硅粉筛分装置利用散粒物料与筛面的相对运动， 使部分颗粒透过筛孔， 将硅粉按 大小分成不同级别。 单晶硅粉的品质纯度要求 非常高， 在筛分过程中， 现有的硅粉筛 分装置 与硅粉接触、 摩擦， 易产生杂质， 如果杂质超标， 会导 致整炉产品报 废， 造成重大损失。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种硅粉筛分装置， 能保证硅粉的高纯度。 [0004]上述技术问题通过以下技 术方案进行解决： [0005]提供一种硅粉筛分装置， 包括第一筛体和第一筛板， 所述第一筛体包括第一外壳 和第一内衬， 所述第一内衬设置于所述第一外壳的内部， 所述第一内衬包括主体部和凸起 部， 所述主体部覆盖所述第一外壳的内壁， 所述凸起部设置于所述主体部背离所述第一外 壳的内壁的一面， 所述第一筛板的边缘为台阶结构， 所述第一筛板的边缘设置于所述凸起 部上， 所述凸起部与所述台阶结构形成的台阶面连接 。 [0006]在其中一个实施例中， 硅粉筛分装置还包括第二筛体和第二筛板， 所述第二筛体 包括第二外壳和第二内衬， 所述第二内衬设置于所述第二外壳的内部， 所述第二内衬为漏 斗形， 所述第二筛 板设置于所述第二内衬中并位于所述第一筛 板的下方。 [0007]在其中一个实施例中， 所述第二筛板上的筛孔孔径小于所述第一筛板上的筛孔孔 径。 [0008]在其中一个实施例中， 硅粉筛分装置还包括支撑架， 所述第一外壳设置于所述第 二外壳上， 所述第二外壳设置于所述支撑架上， 所述支撑架上开设有 下料孔， 所述下料孔位 于所述第二筛 板的下方， 所述下 料孔的孔 壁被所述第二内衬覆盖 。 [0009]在其中一个实施例中， 硅粉筛分装置还包括收料桶， 所述支撑架包括支撑板和若 干支撑腿， 所述下料孔开设于所述支撑板上， 所述支撑腿与所述支撑板的边缘连接， 所述收 料桶能放置 于所述下 料孔的下 方。 [0010]在其中一个实施例中， 所述支撑板 的底面设有若干限位块， 所述限位块能与所述 收料桶的外壁抵 接。 [0011]在其中一个实施例中， 所述收料桶包括桶体和第三内衬， 所述第三内衬覆盖所述 桶体的内壁。 [0012]在其中一个实施例中， 硅粉筛分装置还包括振动台， 所述支撑架设置于所述振动 台上， 所述收料桶能放置 于所述振动台上。 [0013]在其中一个实施例中， 所述振动台的下 方设有滚轮， 所述振动台上还设有推拉杆。 [0014]在其中一个实施例中， 所述第一内衬采用聚氨酯制作， 所述第一筛板采用氮化硅 制作。说　明　书 1/4 页 3 CN 217392959 U 3