(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123070361.8 (22)申请日 2021.12.08 (73)专利权人 江苏诺邦环保科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区蠡园开 发区标准厂房A4五层东 (72)发明人 陶玉珊　 (74)专利代理 机构 无锡嘉驰知识产权代理事务 所(普通合伙) 3238 8 专利代理师 贾传美 (51)Int.Cl. C02F 1/00(2006.01) B01F 35/32(2022.01) B01F 31/40(2022.01) (54)实用新型名称 一种半导体厂用C MP废水高效回收设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体厂用CMP废水 高效回收设备， 涉及流体输送技术领域， 该半导 体厂用CMP废水高效回收设备， 包括输送管道以 及设置在输送管道端部的管道接头， 所述输送管 道水平设置， 所述输送管道的内部设置有牵引 绳， 所述牵引绳的表面等距设置有固定片， 所述 固定片上连接有拖绳， 所述输送管道进水端的外 壁以及进水端设置有切槽， 所述牵引绳的一端固 定在切槽的内部， 所述管道接头套接在输送管道 的表面， 且切槽以及切槽内部牵引绳均位于管道 接头的内部。 本实用新型通过在输送管道中设置 牵引绳、 固定片和拖绳， 解决了半导体工厂连接 设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在 管道中沉降的问题， 避免疏通管道， 给工作带来 便利。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216549671 U 2022.05.17 CN 216549671 U 1.一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 包括输送管道(1)以及设置在输送管道(1) 端部的管道接头(2)， 其特征在于： 所述输送管道(1)水平设置， 所述输送管道(1)的内部设 置有牵引绳(3)， 所述牵引绳(3)的表面等距设置有固定片(4)， 所述固定片(4)上连接有拖 绳(5)， 所述输送管道(1)进水端的外壁以及进水端设置有切槽(6)， 所述牵引绳(3)的一端 固定在切槽(6)的内部， 所述管道接头(2)套接在输送管道(1)的表面， 且切槽(6)以及切槽 (6)内部牵引绳(3)均位于管道接 头(2)的内部 。 2.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 其特征在于： 所述固 定片(4)上设置有穿孔(7)， 所述固定片(4)通过穿孔(7)套接在牵引绳(3)的表 面， 所述牵引 绳(3)上设置有绳结一(8)， 所述绳结一(8)位于固定片(4)远离输送管道(1)进水端的一侧， 所述固定片(4)通过绳结一(8)固定在牵引绳(3)的表面。 3.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 其特征在于： 所述固 定片(4)上设置有通孔(9)， 所述固定片(4)通过通孔(9)与拖绳(5)的一端固定， 所述拖绳 (5)的表面 等距设置有绳结二(10)。 4.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 其特征在于： 所述牵 引绳(3)的长度不大于 输送管道(1)的长度。 5.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 其特征在于： 所述切 槽(6)位于 输送管道(1)的上 方。 6.根据权利要求1所述的一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 其特征在于： 所述切 槽(6)的内部设置有密封填料。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216549671 U 2一种半导体厂用CMP废水 高效回收设备 技术领域 [0001]本实用新型涉及流体输送技术领域， 具体为一种半导体厂用CMP废水高效回收设 备。 背景技术 [0002]半导体工厂CMP废水中含有大量铜等其他金属和非金属不溶颗粒杂质， 从产生废 水的设备到回收池之间通过管道输送废水， 这一段管道分别用于连接各个设备， 通常不设 增加装置， 管道的水平段在废水流速比较低时其中的杂质容易出现沉降， 每天下班管道逐 渐停水到次日上班管道开始 排水， 尤其是每次设备关闭之后的一段时间， 沉降尤为明显， 造 成废水输送阻力增加， 进一步导致废水流速降低， 长期使用造成杂质沉降明显， 需要打开管 道接头进行疏通， 给工作带来 不便。 实用新型内容 [0003]针对现有技术存在的不足， 本实用新型提供了一种半导体厂用CMP废水高效回收 设备， 用于解决半导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉 降的问题。 [0004]为解决上述 技术问题， 本实用新型提供如下技 术方案： [0005]一种半导体厂用CMP废水高效回收设备， 包括输送管道以及设置在输送管道端部 的管道接头， 所述输送管道水平设置， 所述输送管道的内部设置有牵引绳， 所述牵引绳的表 面等距设置有固定片， 所述固定片上连接有拖绳， 所述输送管道进水端的外壁以及进水端 设置有切槽， 所述牵引绳的一端固定在切槽的内部， 所述管道接头套接在输送管道的表面， 且切槽以及切槽内部牵引绳均位于管道接 头的内部 。 [0006]优选的， 所述固定片上设置有穿孔， 所述固定片通过穿孔套接在牵引绳的表面， 所 述牵引绳上设置有绳结一， 所述绳结一位于固定片远离输送管道进水端的一侧， 所述固定 片通过绳结一固定在牵引绳的表面。 [0007]优选的， 所述固定片上设置有通孔， 所述固定片通过通孔与拖绳的一端固定， 所述 拖绳的表面 等距设置有绳结二。 [0008]优选的， 所述牵引绳的长度不大于 输送管道的长度。 [0009]优选的， 所述切槽位于 输送管道的上 方。 [0010]优选的， 所述切槽的内部设置有密封填料。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型 具备以下有益效果： [0012]本实用新型通过在输送管道中设置牵引绳、 固定片和拖绳， 拖绳上还设置有绳结 二， 废水回收过程中带动牵引绳、 固定片、 拖绳和绳结二在输送管道中摆动， 对沉降的杂质 具有刮除的作用， 避免沉降杂质积累， 确保废水回收畅通无阻， 提高了回收效率， 解决了半 导体工厂连接设备回收CMP废水的管道水平段容易出现杂质在管道中沉降的问题， 避免疏 通管道， 给工作带来便利。说　明　书 1/3 页 3 CN 216549671 U 3