(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210101391.0 (22)申请日 2022.01.27 (71)申请人 中国农业银行股份有限公司 地址 100005 北京市东城区建国门内大街 69号 (72)发明人 兰雨　彭沐曦　张磊　陶雪飞　 (74)专利代理 机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 王瑞云 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/45(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01M 11/00(2006.01) (54)发明名称 一种检测系统和检测设备 (57)摘要 本发明实施例公开了一种检测系统和检测 设备， 检测系统包括光源模块， 用于为耦合器模 块提供光源； 耦合器模块， 用于将光源模块发出 的光分别发射至待检测光器件和参考反射镜， 并 将待检测光器件反射的光 以及参考反射镜反射 的光发生干 涉， 得到干涉光束； 探测 信号模块， 用 于接收干涉光束并进行准直后送入数据采集模 块； 数据采集模块， 用于对干涉光束进行分析处 理， 并将分析结果送入上位机； 反馈控制模块， 用 于获取并处理耦合器模块的第四端反射的干涉 光束的反射光， 并基于处理结果对发射至参考反 射镜的光束进行补偿修正。 本申请实现了降低检 测系统的装置复杂 度， 且提高了检测系统的检测 速度、 测量精度低以及测量稳定性的技 术效果。 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 CN 114486917 A 2022.05.13 CN 114486917 A 1.一种检测系统， 其特征在于， 所述检测系统包括光源模块、 耦合器模块、 参考反射镜、 反馈控制模块、 探测信号模块以及数据采集模块； 所述光源模块与所述耦合器模块的第 一端电连接； 所述耦合器模块的第 二端与待检测 光器件电连接； 所述耦合器模块的第三端与所述参考反射镜电连接， 所述耦合器模块的第 四端与所述探测信号模块电连接； 所述反馈控制模块设置于所述耦合器模块的第三端与第 四端之间； 所述探测信号模块与所述数据采集模块电连接； 所述数据采集模块与上位机电 连接； 所述光源模块用于为所述耦合器模块 提供光源； 所述耦合器模块用于将所述光源模块发出的光分别发射至所述待检测光器件和所述 参考反射镜， 并将所述待检测光器件反射的光以及所述参考反射镜反射的光发生干涉， 得 到干涉光束； 所述探测信号模块用于接收所述干涉光束并进行准直， 对准直后的光进行探测， 得到 不同波长的干涉信号； 所述数据采集模块用于采集不同波长的所述干涉信号， 并将所述干涉信号送入所述上 位机； 所述反馈控制模块用于获取并处理所述耦合器模块的第四端反射的所述干涉光束的 反射光， 并基于处 理结果对发射至所述 参考反射镜的光束 进行补偿修 正。 2.根据权利要求1所述的检测系统， 其特征在于， 所述耦合器模块包括耦合器、 多个光 纤自准直透镜、 光环形器、 光纤布拉格光 栅、 光探测器以及压电陶瓷； 所述耦合器的第一端通过 单模光纤与所述 光源模块电连接； 所述耦合器的第二端通过一个所述 光纤自准 直透镜与所述待检测光器件电连接； 所述耦合器的第 三端依次通过所述压电陶瓷、 一个所述光纤自准直透镜与 所述参考反 射镜电连接； 所述耦合器的第四端依次通过所述光环形器、 所述光纤布拉格光栅、 一个所述光纤自 准直透镜与所述探测信号模块电连接； 所述反馈控制模块的一端通过所述光探测器与 所述光环形器电连接， 所述反馈控制模 块的第二端与所述压电陶瓷电连接 。 3.根据权利要求1所述的检测系统， 其特征在于， 所述探测信号模块包括平柱透镜、 闪 耀光栅以及电荷耦合器； 所述闪耀光栅与所述耦合器模块的第四端电连接， 所述平柱透镜设置于所述 闪耀光栅 与所述电荷耦合器之间， 所述电荷耦合器与所述数据采集模块电连接 。 4.根据权利要求2所述的检测系统， 其特征在于， 所述反馈控制模块包括顺 次电连接的 电流‑电压转换器、 微分器、 第一积分器以及第二积分器； 所述电流 ‑电压转换器与所述光探测器电连接， 用于接收所述光探测器传送的用于表 征所述干涉光束的反射 光的电信号， 并将所述电信号 转换为电压信号； 所述微分器用于将过 滤所述电压信号中的直 流电压； 所述第一积分器用于将滤除直流电压的所述电压信号做积分还原处理得到优化后的 所述电压信号； 所述第二积分器用于对所述电压信号进行积分处 理， 得到补偿信号。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114486917 A 25.根据权利要求4所述的检测系统， 其特征在于， 所述反馈控制模块还包括控制器， 所 述控制器与所述第二积分器电连接； 所述控制器用于基于所述补偿信号判断所述耦合器在检测过程中是否受到环境干扰。 6.根据权利要求5所述的检测系统， 其特征在于， 若所述补偿信号的值为0， 则表明所述 耦合器未受到环境干扰； 若所述补偿信号的值不为0， 则表明所述耦合器受到环境干扰， 并 将所述补偿信号作用于所述压电陶瓷。 7.根据权利要求1所述的检测系统， 其特 征在于， 所述检测系统还 包括所述上位机； 所述上位机用于接收所述数据采集模块发送的所述干涉信号， 并基于所述干涉信号分 析判断所述待检测光器件是否裂缝， 并在判断结果为存在裂缝时确定所述裂缝的相对位 置。 8.根据权利要求1所述的检测系统， 其特 征在于， 所述 光源模块包括低相干光源。 9.根据权利要求1所述的检测系统， 其特征在于， 所述数据采集模块通过USB接口与所 述上位机电连接 。 10.一种检测设备， 其特征在于， 所述检测设备包括上述权利要求1至9中任一项所述的 检测系统。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114486917 A 3