(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210167185.X (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 苏州矽行半导体技 术有限公司 地址 213166 江苏省苏州市高新区培源路2 号微系统园2号楼10 6室 (72)发明人 不公告发明人 　 (74)专利代理 机构 北京千壹知识产权代理事务 所(普通合伙) 11940 专利代理师 王玉玲 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆侧边影 像检测装置 (57)摘要 本发明提供了一种晶圆侧边影像检测装置， 属于半导体检测领域， 装置包括影像采集机构、 晶圆载台和控制器， 影像采集机构距离可调的正 对晶圆载台设置， 晶圆载台高度可调的旋转支撑 多种规格的晶圆， 通过控制器控制晶圆载台带动 被测晶圆旋转， 并控制影像采集机构完成对晶圆 全周侧的影像采集； 装置设置多个影像采集机构 围绕晶圆载台周向均布的设置； 以此提高晶圆侧 边影像采集的精度和效率， 便于在半导体检测领 域中推广应用。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 114460009 A 2022.05.10 CN 114460009 A 1.一种晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 装置包括影像采集机构(100)、 晶圆载台 (200)和控制器， 所述影像采集机构(100)距离可调的正对晶圆载台(200)设置， 所述晶圆载 台(200)高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆， 通过控制器控制晶圆载台(200)带动被测晶 圆旋转， 并控制影 像采集机构(10 0)完成对晶圆全周侧的影 像采集。 2.根据权利要求1所述的晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 所述晶圆载台(200)包 括载台底座(201)、 升降台柱(202)和旋转载盘(203)； 其中， 所述升降台柱(202)用于调节旋 转载盘(203)的高度以使其上承载的晶圆侧边厚度完全落入影像采集机构(100)的影像采 集范围； 所述旋转载盘(203)支撑定位待测晶圆， 并使待测晶圆按规定角速度旋转以适于检 测。 3.根据权利要求2所述的晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 所述升降台柱(202)上 设有高度传感器， 所述旋转载盘(20 3)处设有角度传感器。 4.根据权利要求2所述的晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 所述影像采集机构 (100)包括采集底座、 主安装板(4)、 相机移动载件(5)、 相机转接块(7)、 相机(8)、 镜头(9)、 方光组件、 环光调节架(12)和环光组件； 所述主安装板(4)固定至所述采集底座上， 所述相 机移动载件(5)安装于所述主安装板(4)上， 所述相机(8)通过相机转接块(7)安装于所述相 机移动载件(5)上， 并由所述相机移动载件(5)驱动所述相机(8)和镜头(9)前后移动实现影 像采集距离粗调； 在所述相机移动载件(5)前方设置所述方光组件、 环 光调节架(12)和环 光 组件， 所述环 光调节架(12)前后位置可调的设置在所述相机移动载件(5)的侧边， 通过方光 组件、 环光组件、 相机移动载件(5)和镜 头(9)的调节实现影 像采集机构(10 0)的焦距调整。 5.根据权利要求4所述的晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 所述方光组件包括L型 的方光支架(10)和安装于方光支架(10)前方的方形光源(11)， 所述方光支架(10)安装于所 述相机移动载件(5)上并位于相机转接块(7)前 方以及环光调节 架(12)内侧设置 。 6.根据权利要求4所述的晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 所述环光组件包括环光 固定板(13)和环形光源(14)， 所述环光固定板(13)固定连接至L型的所述环光调节架(12) 的前端， 并使得 所述环形光源(14)随着环光调节 架(12)前后行程可调的布置 。 7.根据权利要求4或5或6所述的晶圆侧边影像检测装置， 其特征在于： 所述影像采集机 构(100)还包括柔性防尘遮光罩(15)， 所述柔性防尘遮光罩(15)将镜头(9)、 方光组件、 环光 调节架(12)和环光组件 包覆密封， 并在影 像采集投影方向上伸缩可调。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114460009 A 2一种晶圆侧边 影像检测装 置 技术领域 [0001]本发明属于半导体检测领域， 涉及晶圆影像采集技术， 具体涉及一种晶圆侧边影 像检测装置 。 背景技术 [0002]在半导体的前道生产工序中， 晶圆的质量保证尤为关键， 其中晶圆表面检测中的 周边检测 也是其中的重要工艺保障之一。 传统的检测台中， 进设置一套相 机组件固定于晶 圆外周， 对于晶圆侧边的影像采集机构相对单一， 且调节不灵活， 一周检测效率低， 已不能 满足当前的高精、 高效的检测需求。 发明内容 [0003]为了克服现有技术的不足， 本发明的目的在于提供一种晶圆侧边影像检测装置， 其能解决上述问题。 [0004]一种晶圆侧边影像检测装置， 装置包括影像采集机构、 晶圆载台和控制器， 所述影 像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置， 所述晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的 晶圆， 通过控制 器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转， 并控制 影像采集机构完成对晶圆全周 侧的影像采集。 [0005]进一步的， 所述晶圆载台包括载台底座、 升降台柱和旋转载盘； 其中， 所述升降台 柱用于调节旋转载盘的高度以使其上承载 的晶圆侧 边厚度完全落入影像采集机构的影像 采集范围； 所述旋转载盘支撑 定位待测晶圆， 并使 待测晶圆按规定角速度旋转以适于检测。 [0006]进一步的， 所述影像采集机构包括采集底座、 主安装板、 相机移动载件、 相机转接 块、 相机、 镜头、 方光组件、 环光调节架和环光组件； 所述主安装板固定至所述采集底座上， 所述相机移动载件安装于所述主安装板上， 所述相机通过相机转接块安装于所述相机移动 载件上， 并由所述相 机移动载件驱动所述相 机和镜头前后移动实现影像采集距离粗调； 在 所述相机移动载件前方设置所述方光组件、 环光调节架和环光组件， 所述环光调节架前后 位置可调的设置在所述相机移动载件的侧边， 通过方光组件、 环光组件、 相机移动载件和镜 头的调节实现影 像采集机构的焦距调整。 [0007]进一步的， 所述影像采集机构还包括柔性 防尘遮光罩， 所述柔性 防尘遮光罩将镜 头、 方光组件、 环光调节 架和环光组件 包覆密封， 并在影 像采集投影方向上伸缩可调。 [0008]相比现有技术， 本发明的有益效果在于： 通过本申请的晶圆侧边影像检测装置， 可 以适应不同规格的晶圆进 行侧边影像采集， 多个影像采集机构的设置可以提高影像采集和 检测效率， 便 于在半导体制造的 晶圆质量控制中推广应用。 附图说明 [0009]图1为晶圆侧边影 像检测装置的结构示 意图； [0010]图2为影像采集机构影 像投影于晶圆侧边的示 意图；说　明　书 1/3 页 3 CN 114460009 A 3