(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210250769.3 (22)申请日 2022.03.15 (71)申请人 苏州中巨苏智能科技有限公司 地址 215100 江苏省苏州市高新区浒杨路 88号 (72)发明人 叶井飞　 (74)专利代理 机构 无锡风创知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32461 专利代理师 骆莉 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)发明名称 一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装 置 (57)摘要 本发明提供一种基于自动光学检测的晶圆 缺陷检测装置， 涉及晶圆缺陷检测技术领域， 包 括底座， 所述底座的主体为矩形结构， 且底座的 顶端面上开 设有横向槽， 并且底 座中所开设的横 向槽用于滑动连接有移动座， 底 座的顶端面上固 定连接有支架， 解决了 现有的在 进行检测时需要 手动对灯罩进行更换， 进而会影 响对晶圆片的正 常观察效率， 以及在进行检测工作时手动抓取晶 圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便的 问题， 通过主动调整照射灯照射到晶圆之上的角 度变化即可对晶圆片的缺陷进行快速的检测工 作， 该设计通过对晶圆的翻转角度进行精确化的 刻度调整， 可以使得其在对晶圆的检测工作时更 加精确， 并且更加准确。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 114636671 A 2022.06.17 CN 114636671 A 1.一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置， 其特征在于： 包括底座(1)， 所述底座 (1)的主体为矩形结构， 且底 座(1)的顶端面上开设有横向槽， 并且底 座(1)中所开设的横向 槽用于滑动连接有移动座(13)， 底 座(1)的顶端面上固定连接有支架(2)， 支架(2)中横向构 件的底侧安装有电动推杆A(3)， 电动推杆A(3)的底端安装有导座(4)， 导座(4)的内部开设 有凹槽， 且导座(4)中所开设的凹槽内部安装有电动推杆B(5)， 电动推杆B(5)的另一端安装 有移动块(6)， 电动推杆B(5)与移动块(6)共同组成了调节结构。 2.如权利要求1所述一种基于自动 光学检测的晶圆缺陷检测装置， 其特征在于： 所述移 动块(6)的底端安装有照射灯(7 )， 照射灯(7 )用于罩设晶圆， 支架( 2)的内部安装有电机 (8)， 电机(8)的底端设置有传动轴， 且传动轴穿过支架(2)， 并凸出支架(2)， 电机(8)的底侧 安装有承载架(9)， 承载架(9)为十 字结构。 3.如权利要求2所述一种基于自动 光学检测的晶圆缺陷检测装置， 其特征在于： 所述承 载架(9)的内部开设有滑槽， 且承载架(9)的底端为贯通结构， 并且承载架(9)的内部安装有 侧板(10)， 侧板(10)与承载架(9)之间通过弹簧连接， 且侧板(10)中远离承载架(9)的一侧 还呈直线阵列安装有导轮(1 1)， 导轮(1 1)用于导向镜 头。 4.如权利要求1所述一种基于自动 光学检测的晶圆缺陷检测装置， 其特征在于： 所述底 座(1)中所开设的横向槽的内部滑动连接有移动座(13)， 底座(1)的外侧安装有调节杆 (12)， 调节杆(12)共设有两处， 且两处调节杆(12)分别拧接在底座(1)的左右两侧位置， 并 且调节杆(12)用于调节 移动座(13)在底座(1)中横向槽的位置 。 5.如权利要求4所述一种基于自动 光学检测的晶圆缺陷检测装置， 其特征在于： 所述移 动座(13)为内部中空结构， 且移动座(13)的外侧开设有通槽， 并且移动座(13)的内部插接 有支撑杆(14)， 支撑杆(14)的内部呈直线阵列开设有通孔， 并且支撑杆(14)中所开设的通 孔用于安装限位销， 支撑杆(14)的内部转动连接有角度杆(15)。 6.如权利要求5所述一种基于自动 光学检测的晶圆缺陷检测装置， 其特征在于： 所述角 度杆(15)的一侧安装有限位架(16)， 限位架(16)用于限位晶圆， 且每处限位架(16)的内部 呈对向安装有两处限位气囊(17)， 限位气囊(17)用于限位晶圆， 限位架(16)的顶端安装有 泵机(18)， 泵机(18)用于向限位气囊(17)供气。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114636671 A 2一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装 置 技术领域 [0001]本发明属于 晶圆缺陷检测技术领域， 更具体地说， 特别涉及一种基于自动光学检 测的晶圆缺陷检测装置 。 背景技术 [0002]高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种， 然后 慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅， 硅 晶棒在经过研磨， 抛光， 切片后， 形成硅晶圆片， 也就是晶圆， 而其在 进行生产的过程中因工 艺的差别会产生 一些表面 缺陷， 需要灯光照射后进行检测。 [0003]而现有的检测装置多为需要人工对照射灯更换不同颜色的灯罩来实现照射灯发 射出白光或黄绿光等检测光照射到晶圆之上， 并通过手动握持晶圆片后翻转不同的角度改 变光照对晶圆片的照射角度才能进行检测工作， 但由于其在进行检测时需要手动对灯罩进 行更换， 进而会影响对晶圆片的正常观察效率， 以及在进行检测工作时手动抓取 晶圆调节 角度也会 存在着难以精确调整的不便 。 [0004]于是， 有鉴于此， 针对现有的结构及缺失予以研究改良， 提供一种基于自动光学检 测的晶圆缺陷检测装置， 以期达 到更具有更加实用价 值性的目的。 发明内容 [0005]为了解决上述技术问题， 本发明提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装 置， 以解决现有的在进行检测时需要手动对灯罩进行更换， 进而会影响对晶圆片的正常观 察效率， 以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便的 问题。 [0006]本发明一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置的目的与功效， 由以下具体技 术手段所达成： [0007]一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置， 包括底座， 所述底座的主体为矩形 结构， 且底座的顶端面上开设有横向槽， 并且底座中所开设的横向槽用于滑动连接有移动 座， 底座的顶端面上固定连接有支架， 支架中横向构件的底侧安装有电动推杆A， 电动推杆A 的底端安装有导座， 导座的内部开设有凹槽， 且导座中所开设的凹槽内部安装有电动推杆 B， 电动推杆B的另一端安装有移动块， 电动推杆B与移动块共同组成了调节结构。 [0008]进一步的， 所述底座中所开设的横向槽 的内部滑动连接有移动座， 底座的外侧安 装有调节杆， 调节杆共设有两处， 且两处调节杆分别拧接在底座的左右两侧位置， 并且调节 杆用于调节 移动座在底座中横向槽的位置 。 [0009]进一步的， 所述移动座为内部中空结构， 且移动座的外侧开设有通槽， 并且移动座 的内部插接有支撑杆， 支撑杆的内部呈直线阵列开设有通孔， 并且支撑杆中所开设的通孔 用于安装限位销， 支撑杆的内部转动连接有角度杆。 [0010]进一步的， 所述移动块的底端安装有照射灯， 照射灯用于罩设晶圆， 支架的内部安 装有电机， 电机的底端设置有传动轴， 且传动轴穿过支架， 并凸出支架， 电机的底侧 安装有说　明　书 1/4 页 3 CN 114636671 A 3